SONIC/索尼克 超声波最小液体流量计
用于半导体制造过程中的小面积流量控制
，例如IPA、纯水和化学溶液
・测量1ml/min的小流量
・通过数字信号处理
高精度测量小流量 ・传感器部分
与流体的非接触结构 ・广泛的功能

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