ULVAC/日本爱发科罗茨干式真空泵 型号HR
多级罗茨干式真空泵是在真空室中使用油或液体的机械真空泵。
FPD、电子和半导体行业等领域需要更清洁的真空，需要真空泵来提高良率和可维护性。 代表性的泵之一是罗茨式干式真空泵。


多级罗茨干式真空泵

型号：HR
通过在高温区域对泵体进行均质化，可以将CVD、蚀刻等产生的升华废气材料以
气态排出。

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