ULVAC/日本爱发科溅射工艺型号CGM2-101
溅射工艺

型号：CGM2-101 / 102
ULVAC 的新型残余气体分析仪/工艺气体监测仪 （RGA） 在高压（小于 1 Pa）下提供高精度和分辨率，具有革命性的简单性和易用性。
这是过程监控器新标准的出现，反映了各生产线中设备和技术人员的声音。
它是溅射设备的过程控制（质量改进、良率提高）的理想选择。

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