ULVAC/日本爱发科蚀刻工艺RGM2-201F
CVD/ALD/蚀刻工艺

型号：RGM2-201F
荣获2023年日本真空工业协会“真空元件大奖"


反应性工艺气体监测仪Qulee RGM2-201F是“型号：Qulee"的蚀刻、CVD、ALD设备等反应工艺的工艺排气系统。 ULVAC的离子源和排气系统结构对反应性气体具有优异的耐腐蚀性，并能够长时间稳定测量。

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