ULVAC/日本爱发科蚀刻工艺 RGM2-302
CVD/ALD/蚀刻工艺

型号：RGM2-302
反应性工艺气体监测仪Qulee RGM2-302是一种带有差动排气系统的过程监测器，用于“Qulee"的蚀刻和CVD等反应过程。
ULVAC的离子源和排气系统结构对反应性气体具有优异的耐腐蚀性，并能够长时间稳定测量。

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