OKANO/冈野 真空计校准装置
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OKANO/冈野 真空计校准装置
OKANO/冈野 真空计校准装置
达到压力 | 5.0×10⁻⁴ Pa 以下 |
校准压力范围 | 5.0×10⁻² ~ 1.0×10⁵ Pa |
压力控制系统 | 手动作 |
排气时间 | 约20分钟(从大气压到达到压力) |
真空容器 | 形状 : 圆柱形(高度224mm) 材质 : SUS304 表面处理 : 电解抛光 真空计安装端口数 : 8 端口 (ICF-70) (3 个参考端口,5 个校准端口) |
排气系统 | 主泵 : 涡轮分子泵 抽速 70L/s 辅助泵 : 旋转泵 抽速 100L/min 真空阀 : 蝶阀 |
气体引入系统 | 屏障泄漏阀、针阀、调节器 |
尺寸和重量 | 约55×宽50×高110cm 约150kg |
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