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IWAKI/日本易威奇气动式分配器 SB series

IWAKI/日本易威奇气动式分配器 SB series
SB系列的特点

高精度
光刻胶和其他化学溶液被精确测量和分配。 为了优化抗蚀剂滴落量,提高了每次注射的点胶精度,并安装了后袋(可选)以防止抗蚀剂从出料端掉落。
波纹管内部的死体积极小,液体不滞留。 无密封结构和微速圆柱体可实现抗蚀剂的低速注入,以防止空气污染光刻胶。


轻巧紧凑的设计
泵的安装类型有立式和卧式两种(SB-4K/5/6除外)

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-09-05
  • 访  问  量:40
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产品详情


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IWAKI/日本易威奇气动式分配器 SB series

IWAKI/日本易威奇气动式分配器 SB series

SB系列的特点

IWAKI/日本易威奇气动式分配器 SB series

高精度

光刻胶和其他化学溶液被精确测量和分配。 为了优化抗蚀剂滴落量,提高了每次注射的点胶精度,并安装了后袋(可选)以防止抗蚀剂从出料端掉落。
波纹管内部的死体积极小,液体不滞留。 无密封结构和微速圆柱体可实现抗蚀剂的低速注入,以防止空气污染光刻胶。

IWAKI/日本易威奇气动式分配器 SB series

轻巧紧凑的设计

泵的安装类型有立式和卧式两种(SB-4K/5/6除外),可选择系统的形状。 紧凑的设计还为外围设备腾出了空间。
此外,还提供带有机械塞子的气缸,可通过单个泵控制细微的排放量,以及带有传感器的气缸,可以可靠地检查运行情况。

IWAKI/日本易威奇气动式分配器 SB series

不锈钢含氟聚合物

接液部分有不锈钢(SUS304)型和含氟聚合物(PTFE、PFA)型。 具有优异的耐腐蚀性,无液体污染,高分辨率、高纯度光刻胶等液体质量管理也很可靠。

原理图规格

最大点胶量100mL/冲程
最大排放压力范围0.05〜0.1MPa
送气压力范围0.15〜0.5MPa
最大耗气量1.0NL/行程
主要材料SUS304/聚四氟乙烯、PFA
液体温度范围15〜25°C




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