EBARA/荏原 电动汽车-M 干式真空泵
产品介绍
荏原高温技术支持在半导体、液晶和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。 高节能性能可同时实现高负荷工艺和节能。 耐腐蚀材料是标准配置，还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 根据工艺条件提供广泛的产品，可以处理各种高负荷工艺。

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