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Yamato大和 工艺气体监测仪 MICROPOLE系统

Yamato大和 工艺气体监测仪 MICROPOLE系统
最小的工艺气体监测仪,易于维护

紧凑型工艺气体监测仪(MICROPOLE 系统)的特点

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-08-22
  • 访  问  量:27
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重庆普飞索是一家专业从事欧美日工业品进出口贸易公司。在中国设立多个营业点,以灵活的经营方式,不断开拓业务领域。公司凭借内部优秀团队,开拓并拥有了成熟的外供应链渠道、网络贸易渠道、市场信息渠道。我们以价格优势、快捷稳定的货期和专业的售前售后服务,取得广大新老客户的高度信赖及好评。

重庆普飞索秉承“勤劳朴实、止于至善、永续经营、奉献社会"的企业文化和经营理念,过去、现在及未来将一直为中国制造业产业发展做出贡献,成为客户、供应商、以及所有相关人士需要的贸易公司。



小的工艺气体监测仪,易于维护

紧凑型工艺气体监测仪(MICROPOLE 系统)的特点

产品概述

・ 可测量半导体、液晶面板、太阳能电池等沉积过程中腔室总压力和残余气体分压的质谱仪。
・ 质量检测部分由九个四极杆部分组成,以实现
“最小的尺寸"、“减轻重量"、“高压和低真空"。 非常适合真空室和功能成膜工艺中的气体分析和气体过程管理


长处

・ 可作低真空(高压)范围 0.5 Pa (3.8 mTorr),无需额外设备
・ 传感器单元比其他公司大 1/20(根据我们 2015 年的研究)
・ 传感器可由用户更换,无需停机
・ 使用 PC 软件生成各种图表和易于理解的结果显示
・ 节省空间,采用特别的 9 个四极杆部分结构

用法

- 干式涂层腔室中的工艺气体管理
- 在 PVD 和 CVD
等薄膜形成过程中测量腔室中的杂质和残留气体 - 监测真空干燥过程中的水分和浸出气体


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