IWAKI/日本易威奇 波纹管泵 FS-100HT2
FS-100HT2的特点

高温大流量输送
它可以在最高 180°C 和最大流量 100L/min 下输送。 对于需要高温输送的化学品，如CARO（SPM）和H3PO4，循环流量（55 L/min→100 L/min）与我们的传统产品相比，预计可提高约1.8倍。


提高清洁效率
循环流量的增加提高了晶圆表面去除颗粒、金属和有机污染物的效率，并

重庆普飞索是一家专业从事欧美日工业品进出口贸易公司。在中国设立多个营业点，以灵活的经营方式，不断开拓业务领域。公司凭借内部优秀团队，开拓并拥有了成熟的海内外供应链渠道、网络贸易渠道、市场信息渠道。我们以价格优势、快捷稳定的货期和专业的售前售后服务，取得广大新老客户的高度信赖及好评。

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IWAKI/日本易威奇 波纹管泵 FS-100HT2

IWAKI/日本易威奇 波纹管泵 FS-100HT2

FS-100HT2的特点

高温大流量输送

它可以在最高 180°C 和最大流量 100L/min 下输送。 对于需要高温输送的化学品，如CARO（SPM）和H3PO4，循环流量（55 L/min→100 L/min）与我们的传统产品相比，预计可提高约1.8倍。

提高清洁效率

循环流量的增加提高了晶圆表面去除颗粒、金属和有机污染物的效率，并减少了由于电路图样细化而增加的清洁时间。

无污染

所有接液部件均由含氟聚合物制成。 泵周边也设计为没有金属暴露，例如含氟聚合物涂层。 它能够转移半导体应用中使用的酸、碱和高水合物等化学物质。

减轻重量减轻工人负担

通过优化零件形状，我们能够将现有产品（80 至 100 L/min 级）的重量减轻约 15%。 它可以减轻工人在安装和更换泵时的负担。

接近开关系统

传感器驱动系统用于通过泵内置的接近开关来切换电磁阀。 它还标配泄漏传感器。

易于使用

通过连接专用控制器，可以轻松控制和管理排放量。