IWAKI/日本易威奇 气动隔膜泵 TC系列
气动隔膜泵 TC系列（含氟聚合物型）
最大排放范围：11 至 150 L/min
专为半导体工艺设计清洗液循环、CMP 浆液输送和高纯度化学品供应泵

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IWAKI/日本易威奇  气动隔膜泵 TC系列

IWAKI/日本易威奇  气动隔膜泵 TC系列

TC系列（含氟聚合物型）的特点

半导体专用设计

TCT 型号是一种由含氟聚合物制成的空气驱动隔膜泵，专为半导体设计。 由于空气驱动系统的优势和多种型号配置，它可以用于广泛的应用，包括清洁设备的循环、CMP浆液的输送，甚至高纯度化学溶液的供应。

显着减少空气消耗

与之前的型号相比，气室的结构变化显着降低了空气消耗量。 在高排放压力运行期间，空气消耗量最多可减少 50%。

• 最大点胶量附近的数据比较因型号、要输送的液体和管道而异。

易于分配和控制高压

它能够进行最大 0.7 MPa（在某些情况下为 0.85 MPa）的高压点胶。 排气压力与送风压力成正比，因此可以通过调节空气调节器轻松控制。

无需防爆措施

它由压缩空气提供动力，因此不需要任何特殊的防爆措施。 它也不会因过载而产生热量，因此可用于防爆区域。 新开发的环形 C 型阀芯和新的机械系统改进了核心的空气切换系统。

• 空气切换方式因型号而异。

环形 C 型线轴

环形C型线轴采用结构的环形C型弹簧，通过使弹簧比传统的C型弹条更长，提高了耐用性，减少中间停止的效果更大。 此外，线轴主体由轻质铝材料制成。 这些影响正在变得更大。