IWAKI/日本易威奇 光刻胶点胶泵 PDS-H115
PDS-H115的特点

显着节省抗蚀剂
由于采用高扭矩步进电机作为驱动源，因此即使因过滤器堵塞或粘度变化而增加排放负荷，输出量也几乎不会减少，并且保持了较高的排放精度。 因此，将应用量设置为最小，并且可以显着减少抗蚀剂的使用量。

• 点胶精度：±0.3% （F.S.）
• 分辨率：0.01mL


多功能涂层工艺
由于点胶速度可以在一次注

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IWAKI/日本易威奇 光刻胶点胶泵 PDS-H115

IWAKI/日本易威奇 光刻胶点胶泵 PDS-H115

PDS-H115的特点

显着节省抗蚀剂

由于采用高扭矩步进电机作为驱动源，因此即使因过滤器堵塞或粘度变化而增加排放负荷，输出量也几乎不会减少，并且保持了较高的排放精度。 因此，将应用量设置为最小，并且可以显着减少抗蚀剂的使用量。

• 点胶精度：±0.3% （F.S.）
• 分辨率：0.01mL

多功能涂层工艺

由于点胶速度可以在一次注射中任意改变，因此可用于微量和短时间涂布等各种抗蚀剂涂层工艺。

减少停机时间

可选的内置压力传感器可监控排放压力，以便在更换过滤器时进行管理。 此外，只需向控制器输入数字即可设置点胶量和点胶时间。 它不需要操作员的努力，减少了停机时间。

适用于高粘度应用

它能够处理高达 10,000 mPa·s 的高粘度液体。 结构，没有滑动部件，可用于LED和MEMS器件制造过程中的高粘度应用，以及电解液填充应用。