IWAKI/日本易威奇 光刻胶点胶泵 PDS-105R
PDS-105R的特点

显着节省抗蚀剂
由于采用高扭矩步进电机作为驱动源，因此即使因过滤器堵塞或粘度变化而增加排放负荷，输出量也几乎不会减少，并且保持了较高的输出精度。 因此，应用量设置最小，可以显着减少抗蚀剂液的使用量。

• 点胶精度：±0.3% （F.S.）
• 线性度：±0.5% （F.S.）
• 分辨率：0.01mL


无污染

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IWAKI/日本易威奇 光刻胶点胶泵 PDS-105R

IWAKI/日本易威奇 光刻胶点胶泵 PDS-105R

PDS-105R的特点

显着节省抗蚀剂

由于采用高扭矩步进电机作为驱动源，因此即使因过滤器堵塞或粘度变化而增加排放负荷，输出量也几乎不会减少，并且保持了较高的输出精度。 因此，应用量设置最小，可以显着减少抗蚀剂液的使用量。

• 点胶精度：±0.3% （F.S.）
• 线性度：±0.5% （F.S.）
• 分辨率：0.01mL

无污染

泵部分采用管式框架结构，内表面光滑，死体积小。 几乎没有抗蚀剂液的滞留，从而防止颗粒的形成。

多功能涂层工艺

由于点胶速度可以在一次注射中任意改变，因此可用于微量和短时间涂布等各种抗蚀剂涂层工艺。

减少停机时间

可选的内置压力传感器可监控排放压力，以便在更换过滤器时进行管理。 此外，只需向控制器输入数字即可设置点胶量和点胶时间。 它不需要操作员的努力，减少了停机时间。

原理图规格