IWAKI/日本易威奇气动波纹管泵 FA 系列
FA系列的特点

中温液体循环
卧式FA-2型号和大流量型号FA-40VEW型号标准化。FA-2型适用于喷涂式片材叶片加工，FA-40VEW型适用于清洗200/300mm晶圆。


长寿命设计
FA-40VEW型使用厚壁波纹管。它具有优异的耐压性，旨在承受长期连续运行。


接近开关系统
传感器驱动系统用于通过泵内置的接近开关来切换电磁阀。 它还标配

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